授業科目名：

対象学年：

開講学期：

開講形態：

　　　目的：
　　　　　　気体の放電、プラズマ現象の基礎から工学的応用、診断等について学ぶ 。

　　　内容：
　　　　　　低気圧から高気圧に亘る気体の放電過程を述べ、併せて高電圧工学につ いても
　　　　　　触れる。放電によるプラズマの生成法と各々の放電モードについて説明 する。
　　　　　　ついで、プラズマの性質を理解するため、特に放電陽光柱の理論を実験 と比較
　　　　　　し、検討する。
　　　　　　　プラズマを利用した気体エレクトロニクスと呼ばれる分野の中で、特 に気体
　　　　　　レーザ、プラズマプロセッシング等の応用について延べる。また、放電 、プラ
　　　　　　ズマ診断について、レーザを用いる光学的計測などについても紹介する 。

　　第1--2週　　　 気体の放電現象
　　　
　　第3--4週　　　 高電圧工学基礎
　
　　第5--6週　　　 プラズマの生成
　
　　第7--8週　　　 グローとアーク放電
　
　　第11--13週　　放電プラズマの応用
　
　　第14--15週　　放電、プラズマの診断法
　

　　　筆記試験の結果により成績を決定する。

　　　林 泉、プラズマ工学、朝倉書店、2,600円

　　　放電現象、プラズマ理工学、高電圧工学等の教科書

　　　「電子物性1、2」、「気体電子工学」を履修しておくことが望ましい。
　　　電気事業主任技術者資格認定に必要な科目である。